超临界流体是指温度和压力都处于临界点以上的物质，兼具液体和气体性质，其密度大大高于气体，黏度比液体大为减小，扩散度接近于气体。另外，根据压力和温度的不同，其物性还会发生变化。因此，利用超临界流体作为溶剂，可将吸附在活性炭上的有机污染物扩散、溶解于超临界流体有效分离，即可达到再生的目的。目前研究较多的超临界流体是超临界二氧化碳，它具有较低的超临界温度和适宜的临界压力，其密度大、对有机物的溶解度大、黏度小、传质速率高、扩散性能好和表面张力极低，便于表面渗透进入活性炭的微孔体系，活化微小孔径进行再生，再生过程可间歇操作也可连续操作。
        超临界流体再生的优点是再生过程中活性炭损耗很少，消耗能量少。对吸附了不同有机物的研究发现，第一次再生后活性炭的吸附效率有所下降，但是反复再生后趋于平稳。
        超临界流体再生法也存在一些问题，包括：①目前所研究的有机污染物十分有限，难以证明该技术应用的广泛行；②所采用的超临界流体仅限于CO2。因而该活性炭再生过程受到限制；③在热力学和动力学基础理论研究方面不够深入，缺乏基础数据。
超临界流体再生法具有很大的发展潜力，但目前还处于实验研究阶段，未见中试和工业规模研究报道。

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